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吉時(shí)利儀器公司增強半導體行業(yè)性?xún)r(jià)比最高的高速生產(chǎn)參數測試方案——S530參數測試系統的功能。由于有吉時(shí)利測試環(huán)境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開(kāi)關(guān)以及脈沖發(fā)生、頻率測量和低電壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530系統實(shí)現了更寬范圍的生產(chǎn)參數測試應用和高速、經(jīng)濟有效的測試方案。 
48引腳全Kelvin開(kāi)關(guān)配置 S530低電流系統利用高性能開(kāi)關(guān)矩陣控制測量?jì)x器與測試引腳之間的信號傳輸，實(shí)現了一直到探針引腳的亞皮安級測量分辨率和低電流防護。目前，此系統的最新功能增強支持48引腳全Kelvin（4線(xiàn)式）開(kāi)關(guān)配置，使以前提供的全Kelvin引腳數量翻番。通過(guò)保持與全Kelvin開(kāi)關(guān)和連線(xiàn)有關(guān)的信號完整性，同時(shí)將系統最大引腳數翻番，S530結合了精密高速測量和增強的系統配置靈活性以確保未來(lái)的全面測試覆蓋。 一種新的高速、高分辨率示波器選件支持寬頻測量范圍上的環(huán)路振蕩器測試。該新系統選件以高達400兆采樣/秒的采樣速率實(shí)現了從大約10kHz至20MHz的測量。隨著(zhù)越來(lái)越多的半導體晶圓廠(chǎng)已將環(huán)路振蕩器納入整個(gè)過(guò)程控制監測測試結構中，參數測試系統的頻率測量功能變得日益重要。 脈沖發(fā)生選件的功能 隨著(zhù)更多的集成電路設計中引入了嵌入式存儲器例如閃存，半導體晶圓廠(chǎng)不斷將內存結構和測量加入過(guò)程控制監測程序，這些器件的測試要求輸出用戶(hù)定義的電壓脈沖來(lái)設置和擦除內存單元，再進(jìn)行器件的精密直流測量。為滿(mǎn)足此需求，把現在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子系統機箱集成2通道、4通道或6通道脈沖發(fā)生功能至S530的配置中，使S530產(chǎn)生寬范圍的器件測試波形并增強系統靈活性。 系統DMM選件 作為過(guò)程控制監測的一部分，測試范德堡和金屬結構要求結合低壓測量、高測量分辨率和卓越的可重復性。對于這些應用而言，S530系統現提供專(zhuān)為低壓測量?jì)?yōu)化的7位半、低噪聲數字萬(wàn)用表選件。它在最低量程（100mV）上具有10nV分辨率，在次低量程（1V）上具有100nV分辨率，同時(shí)具有7ppm直流電壓可重復性。 選擇低電流或高電壓系統 有兩種不同配置的S530系統。S530低電流系統適于測量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓系統包含的源測量單元（SMU）能輸出高達1000V@20mA（20W最大值）至任意系統引腳。此版本優(yōu)化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的難度較大的故障測試和漏電測試。雖然新的48針Kelvin開(kāi)關(guān)是低電流系統的獨特功能,但所有新的量測選項都可搭配于這兩個(gè)系統。 了解更多信息 關(guān)于S530的更多信息，請訪(fǎng)問(wèn)吉時(shí)利網(wǎng)站：http://www.keithley.com/products/semiconductor/parametrictestsys/ 或按照以下方式與吉時(shí)利公司聯(lián)系： 吉時(shí)利儀器公司（中國）市場(chǎng)部 (T) 800 810 1334/400 650 1334，8610-8447 5556 (E) china@keithley.com 地址：北京市朝陽(yáng)區霄云路 36 號國航大廈 303 - 308 室 |
