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來(lái)源：myDrivers 中國集成電路制造年會(huì )近日邀請到了光刻機霸主ASML（阿斯麥）中國區總裁沈波參加，他出面解答了一些媒體關(guān)心的話(huà)題。 盡管UMC（聯(lián)電）和Globalfoundries（格芯）先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā)，但ASML依然對EUV光刻機的前景表示樂(lè )觀(guān)。 此前有消息指出，中芯國際（SMIC）今年已向ASML訂購了一臺EUV光刻機，預計明年交付，用于7nm節點(diǎn)。 同時(shí)，傳統的沉浸式光刻機方面，沈波稱(chēng)，今年下半年ASML已開(kāi)始出貨家族最先進(jìn)的NXT:2000i，很快會(huì )在中國市場(chǎng)上也見(jiàn)到。 另外，媒體早先有報道稱(chēng)，長(cháng)江存儲、上海華虹半導體分別向ASML訂購了193納米浸沒(méi)式光刻機和193納米雙工件臺沉浸式光刻機NXT:1980Di，分別用于存儲芯片制造、晶圓代工。 據悉，ASML今年第一季度和第二季度的財報顯示，大陸市場(chǎng)的銷(xiāo)售收入占比達到了20%左右，已與美國持平，且超過(guò)了臺灣地區。 ASML今年的EUV光刻機產(chǎn)能將達到20臺，明后兩年將逐步提升到40臺。 |
