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電阻率是決定半導體材料電學(xué)特性的重要參數，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針?lè )ň哂性O備簡(jiǎn)單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無(wú)嚴格要求的特點(diǎn)。因此，目前檢測半導體材料電阻率，尤其對于薄膜樣品來(lái)說(shuō)，四探針是較常用的方法。 四探針技術(shù)要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時(shí)，測試中間兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過(guò)樣品的幾何參數，輸出電流源和測到的電壓值來(lái)計算得出。 四探針?lè )y量半導體電阻率測試方案，使用美國吉時(shí)利公司開(kāi)發(fā)的高精度源測量單元（SMU），既可以在輸出電流時(shí)測試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達微伏級。支持四線(xiàn)開(kāi)爾文模式，因此適用于四探針測試，可以簡(jiǎn)化測試連接，得到準確的測試結果。 
不同材料的電阻率特性 方案特點(diǎn) ●系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合國標硅單晶電阻率測試標準，測試結束后直接從電腦端讀取計算結果，方便后續數據的處理分析。 ●提供正向 / 反向電流換向測試，可以通過(guò)電流換向 消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值 ●四探針頭采用碳化鎢材質(zhì)，間距 1 毫米，探針位置精確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程。針對不同材料的待測件，提供多種不同間距，不同針尖直徑的針頭選項 ●探針臺具備粗 / 細兩級高度調整，細微調整時(shí)，高度分辨率高達 2 微米，精密控制探針頭與被測物之間的距離，防止針頭對被測物的損害 ●載物盤(pán)表面采用絕緣特氟龍圖層，降低漏電流造成的測試誤差
軟件功能 ● 輸出電流并測試電壓，電阻，電阻率，電導率，薄層電阻等，記錄數據，并根據測試結果繪制曲線(xiàn) ●軟件在 Windows 7/8/10 平臺下使用，測試方法符 合 GB/T 1551/1552 等國家測試標準 ●提供多種修正參數幫助提高電阻率測試精度 ●配合吉時(shí)利 2450/2460/2461 高精度源表使用，確保測試精度和一致性
系統結構： ●系統主要由吉時(shí)利源表（SMU）、四探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過(guò)前面板香蕉頭或后面板排線(xiàn)接口連接到源表上。
系統指標 ●電阻率測試范圍：0.001Ω • cm ~ 1MΩ • cm ●探針頭壓力合力：S 型懸臂式彈簧，合力 6~10 N ●絕緣電阻：500V 下 > 1GΩ ●系統誤差：< 2% (<1Ω • cm 時(shí)，誤差小于 0.5%) ●探針頭間距：1mm, 1.27mm, 1.59mm 可選，使用 紅寶石套軸，探針游移率 < 0.2% ●針尖壓痕直徑：25 um~450um 不同規格可選 ●通信接口：LAN/USB/GPIB ●探針臺尺寸：240mm x 160mm x 280mm 系統配置 ●2450/2460 ●四探針探針臺 ●四探針針頭 ●源表端四線(xiàn)香蕉頭連接線(xiàn) ●四探針測試軟件
安泰測試作為泰克西北地區的服務(wù)商，將和泰克廠(chǎng)家一起，以客戶(hù)為中心，為客戶(hù)提供從解決方案、產(chǎn)品選型、儀器銷(xiāo)售到儀器維修、儀器延保、校準、預防性維護以及儀器培訓等為一體的服務(wù)，不管是售前還是售后，都讓用戶(hù)不再煩惱。 |
