ASML、中芯國際雙雙“表態(tài)” EUV光刻機出貨正常

發(fā)布時(shí)間:2019-11-8 10:01    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: ASML , 光刻機 , 中芯國際
來(lái)源:科創(chuàng )板日報

  去年4月,中芯國際向荷蘭ASML公司訂購了一臺EUV光刻機,用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝;ㄙM超過(guò)1.2億歐元(約10億人民幣),預計今年底交貨,2020年正式安裝。來(lái)自日經(jīng)新聞消息稱(chēng),因為受到美國政府關(guān)切,ASML將延后對中國晶圓代工企業(yè)中芯國際出貨。

  消息發(fā)酵后,中芯國際股價(jià)因此受挫,今日跌幅一度超過(guò)6%。

  對此ASML與中芯國際均對此表示否定。

  11月7日下午,ASML向《科創(chuàng )板日報》獨家回應稱(chēng),對于日經(jīng)新聞報道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認,對其將推測直接定性為事實(shí)作為新聞標題并在文中闡述,表示抗議。

  ASML相關(guān)負責人強調:“實(shí)際上在我們第三季度財報中,就已經(jīng)將相關(guān)情況進(jìn)行說(shuō)明,根據瓦圣納協(xié)議(Wassenaar Arrangement),ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請,目前正在等待荷蘭政府核準。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說(shuō)法是錯誤的,ASML系遵循法規行事,并一視同仁地服務(wù)我們全球客戶(hù)!

  對于何時(shí)能拿到許可證,ASML相關(guān)負責人表示,目前處于正常的流程狀態(tài)中,尚未掌握確切的時(shí)間。

  中芯國際剛剛也進(jìn)行回應:“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段,未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結一切正常,客戶(hù)與設備導入正常運作!

  ASML是全球EUV光刻機的唯一供應商,并且是全球市值最高的芯片設備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約 92 億美元) 左右。其中16%來(lái)自英特爾和美光等美國公司,19%來(lái)自中國。據了解,臺積電、三星已于2019年導入量產(chǎn)最先端產(chǎn)品的EUV設備,且蘋(píng)果預計2020年下半開(kāi)賣(mài)的新型iPhone預估就會(huì )搭載采用該技術(shù)的CPU。

  中芯國際是我國最大的半導體制造公司,今年14nm制程已經(jīng)實(shí)現量產(chǎn),追平臺聯(lián)電14nm制程工藝,如果未能準時(shí)拿到最先進(jìn)光刻機設備,或影響趕超臺積電的日程表。

  目前臺積電臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,不過(guò)量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV(深紫外)工藝,今年3月份才啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn)。而三星在去年就小規模投產(chǎn)了7nm EUV。

  不過(guò),業(yè)內人士透露,這批設備仍預計將在 2019 年底前出貨,并且在 2020 年底前完成裝機。

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