一周前我們曾報道過(guò)臺灣華亞公司向著(zhù)名光刻機廠(chǎng)商ASML下達了一份金額為2320萬(wàn)美元的設備訂單的消息,而最近有消息稱(chēng)華亞又向這家光刻機廠(chǎng)商追加下達了一份價(jià)值為7460萬(wàn)美元的設備訂單.
按照ASML公司現有的光刻設備定價(jià)來(lái)估算,這次華亞很可能訂購了三臺ASML生產(chǎn)的ArF光源(193nm波長(cháng))液浸式光刻機,或者訂購的可能是多臺KrF光源(248nm波長(cháng))干式光刻機. 這兩輪光刻機采購行為顯示華亞正在積極拓展其芯片廠(chǎng)的產(chǎn)能.
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