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翹曲度是實(shí)測平面在空間中的彎曲程度，以翹曲量來(lái)表示，比如絕對平面的翹曲度為0。計算翹曲平面在高度方向最遠的兩點(diǎn)距離為最大翹曲變形量。 
翹曲度計算公式：
晶圓翹曲度影響著(zhù)晶圓直接鍵合質(zhì)量，翹曲度越小，表面越平整，克服彈性變形所做的工就越小，晶圓也就越容易鍵合。晶圓翹曲度的測量既有高精度要求，同時(shí)也有要保留其表面的光潔度要求。所以傳統的百分表、塞尺一類(lèi)的測量工具和測量方法都無(wú)法使用。 以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1光學(xué)輪廓儀，專(zhuān)用于超精密加工領(lǐng)域，其分辨率可達0.1nm。非接觸高精密光學(xué)測量方式，不會(huì )劃傷甚至破壞工件，不僅能進(jìn)行更高精度測量，在整個(gè)測量過(guò)程還不會(huì )觸碰到表面影響光潔度，能保留完整的晶圓片表面形貌。測量工序效率高，直接在屏幕上了解當前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數據。
SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀 光學(xué)輪廓儀測量?jì)?yōu)勢： 1、非接觸式測量：避免物件受損。 2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。 3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。 5、高速數字信號處理器：實(shí)現測量?jì)H需要幾秒鐘。 6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統。 7、工作臺：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。 8、測量軟件：基于windows操作系統的用戶(hù)界面，強大而快速的運算。 |
