自主研發(fā) 南大光電國產(chǎn)高端光刻膠通過(guò)認證 已經(jīng)用于50nm工藝

發(fā)布時(shí)間:2023-4-11 09:04    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 南大光電 , 光刻膠 , 50nm
來(lái)源:快科技

4月10日消息,南大廣電在互動(dòng)平臺表示,該公司自主研發(fā)的高端ArF光刻膠已經(jīng)通過(guò)了客戶(hù)認證,并少量銷(xiāo)售。

南大光電表示,公司已有兩款ArF光刻膠產(chǎn)品分別在下游客戶(hù)存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節點(diǎn)上通過(guò)認證,并實(shí)現少量銷(xiāo)售。

現階段驗證工作正在穩步推進(jìn),且針對同一客戶(hù)開(kāi)發(fā)了不同的產(chǎn)品,以滿(mǎn)足客戶(hù)的多樣化需求。

此前該公司指出,公司已建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)、年產(chǎn)20噸ArF浸沒(méi)式光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純試劑生產(chǎn)線(xiàn),具備ArF光刻膠及配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力,目前公司送樣驗證的產(chǎn)品均由該自建產(chǎn)線(xiàn)產(chǎn)出。

2022 年,南大光電公司實(shí)現營(yíng)業(yè)收入158,123.07萬(wàn)元,同比增長(cháng)60.62%;歸屬于上市公司股東的凈利潤18,673.26 萬(wàn)元,同比增37.07%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤12,562.52萬(wàn)元,同比增長(cháng)78.39%。
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