Intel 助ASML研發(fā)450mm晶圓技術(shù)

發(fā)布時(shí)間:2012-7-12 09:45    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 450mm , 晶圓
說(shuō)起ASML Holding N.V.(阿斯麥),你可能會(huì )感覺(jué)到很陌生,但是Intel、三星、海力士、臺積電、中芯國際等等這些聲名顯赫的巨頭,之所以一直能不斷把半導體工藝推向前進(jìn),很大程度上都要感謝這家來(lái)自荷蘭的全球光刻設備頂級巨頭背后默默的貢獻。沒(méi)有它提供的世界上精度最高、效率最高、應用最廣泛的光刻機,都得去喝西北風(fēng)。(另外兩家能夠提供光刻機的是尼康、佳能)

今天,Intel宣布與ASML達成一系列協(xié)議,將向后者投資總計33億歐元(約合41億美元),用于加速450毫米晶圓技術(shù)、EUV極紫外光刻技術(shù)的研發(fā),推動(dòng)硅半導體工藝的進(jìn)步。Intel預計,這一合作有望將兩項技術(shù)的部署周期縮短最多兩年,從而大大節省新工藝成本。

為此,Intel將分兩個(gè)階段進(jìn)行投資。先期一方面在五年內拿出5.33億歐元(約合6.8億美元)現金,支持ASML 450毫米晶圓的研發(fā)工作,另一方面購買(mǎi)大約17億歐元(約合21億美元)的股權投資,約占ASML交易前發(fā)行股的10%。

后期如果能得到ASML股東的批準,Intel會(huì )在另一個(gè)五年內分別拿出2.76億歐元(約合3.4億美元)、8.38億歐元(約合10億美元),用于支持ASML加速開(kāi)發(fā)極紫外光刻技術(shù),以及購買(mǎi)另外5%的股份。

這樣,Intel將持有ASML 15%的股份(ASML將會(huì )出售總計25%的股份),股權投資總額25億歐元(約合31億美元)。做為交易的一部分,Intel也承諾提前購買(mǎi)ASML 450毫米晶圓和極紫外光刻的開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)設備。

很顯然,Intel在下一盤(pán)非常非常大的棋盤(pán),而兩個(gè)為期五年的投資周期也表明,450毫米晶圓和極紫外光刻都不是短期內就能實(shí)現規;慨a(chǎn)的,需要砸下無(wú)數的人力物力和真金白銀。

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