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X-FAB Silicon Foundries今日宣布，為了MEMS的營(yíng)運將在未來(lái)的三年投資5000萬(wàn)美金以上在無(wú)塵室、新設備、研發(fā)與人員，這些投資也反映X-FAB意義深遠地聚焦在MEMS以因應預期中MEMS的成長(cháng)。新品牌”X-FAB MEMS Foundry”在德國艾爾芙特的X-FAB廠(chǎng)區內完全專(zhuān)注于先進(jìn)的MEMS生產(chǎn)與研發(fā)，并將整合所有X-FAB MEMS的業(yè)務(wù)。 X-FAB執行長(cháng)Rudi De Winter表示，”在X-FAB所有的業(yè)務(wù)中，MEMS是一塊策略領(lǐng)域以服務(wù)我們客戶(hù)不斷成長(cháng)的需求。我們的客戶(hù)將受益于只專(zhuān)注在先進(jìn)MEMS技術(shù)的專(zhuān)用資源與專(zhuān)業(yè)的代工，并建立在X-FAB卓越技術(shù)的堅固基礎上。此舉將帶領(lǐng)X-FAB朝向我們的目標，成為全球前三大MEMS代工服務(wù)的供貨商�！� X-FAB近期MEMS的技術(shù)成就包含: • 業(yè)界首個(gè)為MEMS三軸慣性傳感器(3-axis inertial sensor)提供的開(kāi)放性平臺，一個(gè)可以直接從代工廠(chǎng)量產(chǎn)的制程 • 為MEMS完成專(zhuān)用的貴金屬設備 • 生產(chǎn)8英吋MEMS的能力 • 可大量制造并整合CMOS的bulk與表面微機械加工技術(shù) • 為主流MEMS應用所發(fā)展的內部技術(shù)平臺，如壓力傳感器、慣性傳感器、紅外線(xiàn)傳感器 • 可立即使用的MEMS加速度計的IP |
