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來(lái)源：科技日報 純度要求達到99.999999999%的電子級多晶硅終于量產(chǎn)。記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經(jīng)過(guò)一系列嚴格驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時(shí)也向國內部分晶圓加工廠(chǎng)批量供貨。這標志著(zhù)我國半導體集成電路用硅料已經(jīng)達到國際一流質(zhì)量標準，也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場(chǎng)出口集成電路用高純度硅料。 電子級多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎材料，過(guò)去中國市場(chǎng)上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴(lài)進(jìn)口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。相對于太陽(yáng)能級多晶硅99.9999%純度，電子級多晶硅的純度要求達到99.999999999%。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質(zhì)含量相當于一枚1元硬幣的重量。 2015年12月，鑫華半導體由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資，建設國內首條5000噸半導體集成電路專(zhuān)用電子級多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)。去年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。 目前，該電子級多晶硅已通過(guò)客戶(hù)驗證并形成規�；N(xiāo)售，打破長(cháng)期以來(lái)國外高純度材料壟斷，填補該產(chǎn)業(yè)國內技術(shù)空白。鑫華半導體公司第一條生產(chǎn)線(xiàn)的產(chǎn)能為5000噸，可保證國內企業(yè)3至5年內電子級多晶硅不會(huì )缺貨，產(chǎn)品質(zhì)量滿(mǎn)足40nm及以下極大規模集成電路用12英寸單晶制造需求。同時(shí)，還將規劃再上一條5000噸生產(chǎn)線(xiàn)，以更好地滿(mǎn)足國際國內市場(chǎng)。 |
